探針臺參數(shù)

04-24 15:34 作者 : 武漢光谷薄膜技術(shù)有限公司

探針臺 ? 百科

探針臺為小尺寸樣品測量電特性?PID自整定連續(xù)多點(diǎn)控溫?提供高精度可控的測量環(huán)境?幫助精準(zhǔn)測量和分析判斷晶圓器件的性能?

探針臺設(shè)備通過定制樣品臺和測量方式?可以實(shí)現(xiàn)￤

基礎(chǔ)測試；

保護(hù)氣氛電路測試；

高低溫真空探針臺；

超高頻探針臺；

光電流分析；

FA失效分析等測量和分析平臺?

真空探針臺設(shè)備參數(shù)￤

外形尺寸￤長650mm*寬650mm*高1300mm；

溫度范圍￤-196~400℃（環(huán)境溫度）；

制冷加熱方式￤液氮制冷?電阻加熱；

樣品臺尺寸￤≤φ100mm；

有效高度￤40mm；

探針臺真空度￤機(jī)械泵≤10Pa?分子泵≤5.0 e-3Pa；

探針臺設(shè)備氣路￤1-2路；

溫度傳感器￤PT100；

控溫方式￤PID線型調(diào)節(jié)；

控溫精度￤±0.1℃；

最大升溫速率￤80℃/min（RT到100℃）；

最大降溫速率￤50℃/min（RT到-100℃）；

XYZ軸行程￤50mm*50mm*10mm；

探針結(jié)構(gòu)￤外置探針臂?真空波紋管結(jié)構(gòu)；

移動精度￤0.01mm；

線纜￤同軸線/射頻線；

探針類型￤鎢探針（類型可選）；

接頭類型￤BNC/鱷魚夾/接線端子?


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